【中微公司（688012.SH）】CCP&ICP刻蚀机市场份额持续提升，薄膜类设备进展喜人——系列跟踪报告之六（刘凯）_中微公司3nm刻蚀机是否研发出了

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报告摘要

事件：

2023年3月31日，公司发布2022年度报告：公司2022年营业收入为47.4亿元，同比增长52.50%；归母净利润为11.7亿元，同比增长15.66%；扣非归母净利润为9.19亿元，同比增长183.44%；毛利率为45.74%，同比增长2.38pcts；净利率为24.64%，同比减少7.90pcts。公司2022Q4营业收入为16.97亿元，单季同比增长63.88%；归母净利润为3.77亿元，单季同比减少19.75%；扣非归母净利润为2.76亿元，单季同比增长72.79%；毛利率为46.15%，单季同比增长1.44pcts；净利率为22.19%，单季同比减少23.17pcts。

点评：

公司22年营收同比+52.5%，扣非净利润同比+183.4%，刻蚀设备收入同比+57.1%，新增订单同比+53.0%，维持高速增长

公司22年营收同比+53%，主要系刻蚀设备市占率不断提升，MOCVD在蓝绿光LED生产线取得领先地位，以及各类新产品取得可喜进展，其中刻蚀设备收入31.47亿元，同比+57.1%，毛利率达47.0%，MOCVD设备收入7.0亿元，同比+39.1%，毛利率达37.0%。公司22年归母净利润同比+15.7%，主要系扣非净利润同比+183.4%增加约5.95亿元，但非经常性收益同比减少4.37亿元所致。公司22年新增订单63.2亿元，同比+53.0%，合同负债21.95亿元，相比22Q3增长+11.5%，订单表现良好。

CCP&ICP刻蚀机市场份额持续提升，大马士革和极高深宽比刻蚀机即将进入市场

CCP刻蚀机：公司22年共生产付运CCP刻蚀腔475个，同比+59.4%，在国际最先进的5nm及以下逻辑产线实现多次批量销售，针对逻辑器件的一体化大马士革刻蚀工艺和存储器件的极高深宽比刻蚀技术的产品即将进入市场，市占率不断提升。ICP刻蚀机：公司推出了用于高深宽比结构刻蚀的Nanova VE、用于高均匀性刻蚀的Nanova UE和用于特色器件如功率器件等的Twin-Star SE产品，在超过20个客户的逻辑、DRAM和3DNAND等器件的生产线上进行超过100多个刻蚀工艺的量产，并持续扩展到更多刻蚀应用的验证，发展势头强劲。

LPCVD及锗硅EPI设备进展喜人，ALD设备持续开发中，前道设备厂商睿励持股比例达34.75%

公司首台CVD钨设备关键存储客户验证中，持续开发新型号CVD钨和ALD钨设备，ALD氮化钛设备进入实验室测试阶段，锗硅外延EPI设备处于调试阶段。22年公司增资前道设备厂商睿励1.08亿元，并以0.43亿元受让睿励老股东部分股权，目前累计投资约2.51亿元并持有34.75%的股份。

风险提示：晶圆厂扩张不及预期，客户导入不及预期，技术研发不及预期。

发布日期：2023-04-04

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