自动探针台-自动探针台工作原理图解

 

一、 什么是自动探针台

自动探针台是一种用于电子与通信技术、计算机科学技术领域的工艺试验仪器。从装片方式上区分，分为全自动和半自动两种。主要用于晶圆测试，晶圆尺寸：4,,6,8 ，12英寸晶圆片装卸：1个载片盒 (25 或者 26 个片槽)，连续的可编程双向加载，快速单片晶圆手动上下片，防晶圆交叉保护 XYZ- 精度：±3微米。

二、 设备外观

三、 主要功能

1. TTL专用测试仪接口；GPIB/RS232/网络接口（选配）；与测试机连接方便；

2. Windows风格界面，动态显示测试过程，MAP图实时显示、存储；

3. Map导航功能，map编辑（可编辑标注DIE属性、测试区域）；

4. 自动测试方式有矩阵、圆形方式、Map方式；

5. 图像对准功能，自动扫描，自动首点对准；

6. 不良品喷墨打点标记，墨点尺寸Ø0.5mm；

7. 分级权限管理；

8. 控制打印机打印测试结果；

9. 配合上位机，上传并记录测试数据。

四、 主要技术指标

性能名称技术指标可测行程范围200*200mm测试点（PAD）要求不小于0.05mm直径工作台最大行程210mm×300mm定位精度≤±0.01mm/100mm工作台速度≥100mm/s步进分辨率0.001mm集成式防震平台固有频率＜1.5~2Hz测试工具探针座/探卡可选承片台Z向行程19mmZ向定位精度≤±0.003mmZ向分辨率0.001mmθ向调节范围±10°θ向分辨率0.00625°CCD摄像机自动对准、自动扎片、测试观察测试效率（UPH）≥100上、下片方式手动方式外形尺寸（宽×深×高）1300mm×840mm×1500mm

五、使用环境：

1. 电源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz，功率：＜1.5KW

2. 压缩空气源：> 0.7MPa，10L/H

3. 使用环境：温度：15ºC-25ºC 相对湿度：＜70%