中芯国际为什么非要买7nm的EUV光刻机呢，7nm的DUV光刻机不是一样能用吗？（为什么中芯国际上市股票会跌那么多）

DUV光刻机当然能用，美国内部的鹰派也同意了这一点，试图用“看我说什么，别看我做什么”的态度要求阿斯麦等光刻机制造商禁售中国大陆DUV光刻机前言2022年7月初，中美在半导体产业上的角力再起波澜——美国正在推动荷兰禁止该国的光刻机设备生产厂商阿斯麦（ASML）向中国大陆出售DUV（深紫外线）光刻机，以进一步遏止中国在半导体产业的崛起。

DUV光刻机与当前最尖端的EUV（极紫外光）光刻机相比，虽然算是上一代的产品，但是仍然可以用于7纳米以上的非尖端制程，生产满足汽车、物联网、电信以及数据中心等应用所需的大部分非先进逻辑芯片，包括各类微控制器、电源电机驱动芯片和常规逻辑芯片等。

而目前国产光刻机还是半导体制造设备国产化进程中主要的短板，不足以满足7纳米以上先进制程所需。因此，外购DUV光刻机仍是中国芯片产业发展所必需。

国产半导体制造设备的突破现状 （来源：网络）而根据报道，美国官员还试图向日本施加压力，要求其他的DUV光刻机供应商尼康公司等也停止向中国芯片制造商提供相同的技术这已不是美国第一次尝试将DUV光刻机作为武器敲打发展中的中国半导体产业。

在2021年初，两位共和党议员就曾致信拜登政府，要求其劝说荷兰政府阻止阿斯麦向中芯国际出售DUV光刻机，并且建议与盟国达成协议，统一出口限制和许可权山雨欲来美国为什么要突然再次对DUV光刻机下手呢？SemiWiki网站的撰稿人Robert Maire认为这与目前

美国参众两院尚在讨论中的CHIPS for America法案（下简称CHIPS方案）相关，而禁售DUV光刻机就是一招直击中国科技产业软肋的“妙手”。

Robert Maire (来源：网络)作为华尔街分析师出身，现为咨询公司Semiconductor Advisors 总裁的Maire，是一位在半导体行业财务和战略等相关行业有20多年经验的老兵，曾通过 IPO等手段为应用材料（Applied Material），阿斯麦（ASML）和SanDisk等公司筹集了数十亿美元，也参与了中芯国际在华尔街的早期融资活动。

因此，Maire的分析工作是许多美方业内人士的信息与意见来源，也是SemiWiki网站的主要内容贡献者之一美国设立CHIPS法案的目的是促使美国本土芯片制造的回归和复兴，因此法案内容包括联邦政府投入520亿美元补贴本土芯片生产。

与此同时，推动CHIPS法案立法的初衷还包括围堵中国半导体产业的发展，所以该法案还包含了由白宫支持的护栏（Guardrail）条款，即禁止接受CHIPS法案补贴的公司在中国投资28纳米以下的芯片制造能力。

而根据此前的报道，台积电和三星电子都要求从520 亿美元补贴中分得一杯羹，否则将减缓或缩小其已宣布的美国建厂计划但是每当法案涉及到大规模财政补贴的时候，参众两院的驴象两党总会产生很多分歧，进而迟滞法案通过——CHIPS也面临同样的状况。

考虑到今年又有关键的中期选举，再加上创纪录的通货膨胀，因此对美国来说只动嘴不动手的光刻机禁运，在对中国的强烈担忧已经成为了两党共识的背景下，可以较容易的获得两党支持，不会在国会引起不受欢迎的党派斗争Maire表示，即使CHIPS方案最终失败，隔绝中国大陆获得DUV光刻机的渠道至少部分实现了CHIPS法案的目的，即制裁中国科技行业，限制其在半导体领域上的发展。

而且这个举措不用美国政府投入任何补贴，可谓花小钱（甚至不花钱），办大事，将更受立法者和选民的欢迎在他的论述中上个世纪90年代出现的瓦森纳协定就是一个很好的例子协定中要求参与各方保证中国在芯片设计、生产等多个领域仅能获得落后数代的技术。

例如，在2019年和2021年版《军民两用商品和技术清单》中，EUV光刻机都被列入限制清单。

2021年版瓦森纳协定中对光刻设备的管制范围 （来源：网络）如果以当前最先进的量产芯片制程 5纳米为起点，再加上7纳米和10纳米两个中间节点，中芯国际正在试产的 14纳米恰好落后了3 代Maire传言美方有想法和动议重新编纂和执行对中国的 N-3 限制，在法律上“锁死”中国半导体科技的发展。

他甚至叫嚣DUV和之前EUV光刻机的禁运“将让中国回到芯片制造的石器时代”即使CHIPS法案不能通过，DUV光刻机禁运也可以像有组织的犯罪集团应对竞争那样，不需要提升自己，只需要解决竞争对手（“sleep with the 。

fishes”）。

光刻机技术迭代里程 （来源：平安证券）Maire还提出美国可以进一步收紧对几乎全部种类半导体设备和芯片对中国出口的限制，其中不仅是前沿或军事用途的芯片，还可以包括更普通的产品，就像当前对俄罗斯的制裁（当然对中国的出口限制不会像对俄罗斯那样的彻底）。

而Maire认为这种切香肠的步步紧逼让中国很难用夺取台积电作为终极报复手段也就是说，“美国可以将制裁视为一种有效的武器，而不会像以前认为的那样冒险“Maire论据之一便是福建晋华，借此一方面将中国塑造为盗窃知识产权的反面形象，另一方面又以此证明美国的实体清单和长臂管辖确实有效，而副作用不彰。

如果深入探讨，Maire的理论依据在于他认为半导体行业本质上是一场全球性的零和博弈——如果中国不能生产世界所需的芯片，那么它们将在其他地方生产；如果阿斯麦无法将光刻机卖给中国，那么其他非中国晶圆厂将排队等候填补空缺。

他认为反正“中国大部分晶圆厂仍然处于 N-3 或更老的制程，中国的半导体行业可以继续开心的为玩具、电器和汽车制造芯片，只是在军事、5G、人工智能或处理器方面没有领先优势”而禁运的代价Maire仅是轻描淡写——只是芯片的生产成本比中国略高，另外短时间内对全球半导体设备公司，包括阿斯麦以及美国的应材、科磊和泛林三大企业产生影响。

他认为长期来看，这对阿斯麦和其他设备公司的实力或成功几乎没有影响——无论如何，这些设备厂商都会与中国本土制造商的设备进行竞争，只是时间早晚——Maire不看好中国能靠自己解决设备卡脖子的问题，“需要得到美国和国际社会的合作，才能在半导体技术方面取得更大的进步”。

而中国国内一些专业人士对此的看法正好相反，认为全球半导体行业的零和博弈只会让禁运造成中美双输的局面，以至于美方反而不会推动过度禁运笔者认为双方观察角度不同导致结论南辕北辙，Maire从两党政治和参众两院议员的个人政治利益出发，而国内观点大多以美国总体利益作为核心论点。

不同观点当然，美国也有智库人士与Maire的鹰派意见相左在近期郭怡广（Kaiser Kuo）对大成全球顾问公司Paul Triolo的采访中，Triolo透露美国商务部产业与安全局（BIS）将拒绝为任何生产10 纳米以下制程的半导体设备颁发许可，计划把中国大陆的半导体制程冻结在 14 纳米以上，以保持美国在芯片制造业领域的主导地位，至少是在其盟友中的领导地位。

Paul Triolo (来源：网络)Paul Triolo是跨国律师事务所大成与奥尔布赖特·石桥集团的合资企业大成全球顾问（Dentons Global Advisors ASG）的中国业务高级副总裁兼技术政策负责人。

Triolo曾在在美国一家政府核心情报部门担任研究分析师长达 25 年在入职大成全球顾问前，他还在政治风险咨询公司欧亚集团任职全球技术政策实践主管虽然大多数的半导体制造设备都不是为某个特定节点专门设计的，而是可以应用于一个较大的制程范围，但是“美国商务部可能在美国国防部的怂恿下，已经确定14 纳米节点是一条界限”。

在Triolo与美国政界和学界的交流中，这成为了一个关乎美国经济安全的问题但是，如果美方禁运DUV光刻机，并且限制大陆公司从台湾地区的企业中获得尖端制程和先进制程方面的生产能力，将显著改变目前半导体行业的格局。

Triolo认为这套组合拳会把先进制程从“红色供应链“（red supply chain）中剥离，反而破坏了某地区宣称的硅盾（Silicon Shield）,削弱了美国在半导体领域的威慑力SemiWiki创始人Daniel Nenni（笔者之前有一篇关于他的文章《

听老司机讲行业八卦，不动脑即可提升行业资深度》）也哀叹，“曾希望半导体相关的禁令是为了中美关系的更大利益而讨价还价的筹码，如更平衡的双边贸易等现在看来，半导体正成为台海战争的导火索”参考资料Robert Maire, 。

http://SemiWiki.com，《ASML- US Seeks to Halt DUV China Sales》Robert Maire, http://SemiWiki.com，《SEMICON West the Calm Before Storm? CHIPS Act Hail Mary? Old China Embargo New Again?》

Robert Maire, http://SemiWiki.com，《CHIPS for America DOA? 》Daniel Nenni, Robert Maire, http://SemiWiki.com

，《Can China Really Become Self-Sufficient in Semiconductors? 》Kaiser Kuo, supchina.com, 《Semiconductors and the unspoken U.S. tech policy on China with Paul Triolo》

赵元闯，芯思想，《最新版瓦森纳安排管控清单解读》李晓延，爱集微，《从EUV到DUV：光刻机战火再燃？》