哈工大突破国产7nm光刻机关键技术, 现在该慌的是欧美（哈工大跌出前十）

前段时间有一则消息引起了网友的广大关注，那就是在世界电子大会首届“金燧奖”中国光电仪器品牌榜获奖名单，哈工大仪器学院胡鹏程教授团队研制的“高速超精密激光干涉仪”荣获金奖，排名第一哈工大作为国内非常知名的一所理工院校，他们实现技术突破，获得各种奖项都没有什么大惊小怪，但为什么高速超精密激光干涉仪”荣获金奖会引起广大网友的关注呢？。

因为这个技术直接跟国产光刻机的卡脖子技术息息相关高速超精密激光干涉仪可以解决国展光刻机技术瓶颈大家都知道，光刻机是芯片制造产业链当中非常关键的一个核心技术，甚至可以起到决定性因素，光刻机的精度直接决定了芯片的性能。

目前全球有不少国家都能够制造光刻机，包括荷兰，日本，中国等等，但我国目前已经量产的光刻机只有90纳米，虽然上海微电子已经研发出28纳米光刻机，但目前还没有正式量产而目前全球最先进的光刻机是由荷兰的ASML提供，他们研发出的DUV光刻机EUV光刻机可以用来生产一些高端芯片，比如EUV光刻机目前已经被台积电、三星等一些厂家用来生产5纳米和3纳米芯片，未来还会量产2纳米芯片。

然而前段时间，美国荷兰和日本已经达成一个协议，他们将严禁向中国出口一些先进半导体设备，这意味着未来荷兰ASML的光刻机很有可能不再向中国出口，届时中国14纳米以下的芯片生产都有可能受到影响在这种背景之下，我们只能将希望寄托于国产光刻机，希望国产光刻机能够尽快实现技术突破。

而对于光刻机来说，有一个很关键的技术就是超精密、高速位移测量，全球光刻机普遍采用的技术是激光干涉位移测量(DMLI)技术目前主流的光刻机内部通常集成有6轴至22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，以此来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的自由度位置和姿态信息，。

不过之前全球应用于光刻机的超精密高速测量技术主要由美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构提供，他们长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。

但是这些尖端技术已经被列入清单，欧美是不允许向我国出口这些技术的，所以国产光刻机无法使用欧美这些企业提供的技术，这或多或少的影响了我国高端光刻机的研发进程。

在这种背景之下，以哈工大为首的研究机构就开始探索了国产超精密高速测量技术经过多年的研究之后，哈工大已经实现很大的技术突破，在高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，并研制了系列超精密高速激光干涉仪。

，激光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077nm，光学非线性误差最低为 13pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s而且目前这种超精密高速测量技术已经应用在我国的350nm到28nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领。

最关键的是哈工大研究的这项技术可以为国产7纳米以下节点光刻机研发提供重要的技术储备，简单来说，这项技术可以应用在国产7纳米光刻机上，这为早日实现国产光高端光刻机的突破贡献了重要的技术支撑欧美会不会慌？一直以来欧美都对中国实施严厉的技术出口限制，尤其是在瓦森纳框架协议之下，很多先进技术他们都不会向中国出口，即便我们有钱也未必能够买到。

比如早在2018年的时候，我国的一家企业就曾经向荷兰的ASML订购过一台EUV光刻机，按照合同这台光刻机应该在2019年底交付的，但至今已经过去4年多时间，这台EUV光刻机仍然没有交付，而且在这期间还诞生出了很多意外，比如ASML车间起火等等。

现在随着美国、荷兰、日本签署半导体与先进设备出口禁令后，荷兰很有可能不会把他们的高端光刻机出口到中国了他们这样做的目的其实就是要限制中国半导体产业的发展，以此来巩固欧美在半导体产业的领先地位，从而持全球制造业的牛耳。

然而现实当中有一个奇怪的现象，欧美越限制什么技术，往往我国也越容易实现技术突破，就像光刻机技术一样，在哈工大实现超精密高速测量技术突破之后，我相信欧美肯定很担忧虽然这一单项技术的突破不足以支撑国产高端光刻机的成功研发，但至少为国产高端光刻机储备了技术，如果未来其他技术能够持续突破，那国产7纳米光刻机就有可能成为现实。

所以看到哈工大这一技术实现突破之后，欧美肯定心里不是滋味，甚至有可能使用更多的限制措施来限制中国相关企业和研究机构的研究进度一直以来欧美都在奉行一种做法，干不过就限制，之前美国就将很多中国企业以及科研院所列入实体清单当中，严禁向这些企业和机构出口美国的一些软硬件，以此来阻碍国内一些关键技术的研发进度。

但是如今的中国跟几十年前的中国已经不一样了，中国作为全球最大的制造业国家，拥有全球最完善的工业体系，而且国内还拥有庞大的工程师和科学家在欧美限制之后，我相信国内会投入更大的力量和财力去实现光刻机技术的研发，。

终究有一天我们会摆脱欧美的限制，真正的实现国产高端光刻机的独立自主，到时欧美一些先进设备在中国就会失去市场空间，到时该慌的就是他们了。