一文了解半导体检测的利器 — 探针台-半导体探针测试

探针台是半导体行业重要的检测装备之一，其广泛应用于复杂、 高速器件的精密电气测量，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

半导体测试可以按生产流程可以分为三类：验证测试、晶圆测试测试、封装检测。探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。除探针台外，晶圆检测环节还需要使用测试仪/机，测试仪/机用于检测芯片功能和性能，探针台实现被测芯片与测试机的连接，通过探针台和测试机的配合使用，可以对晶圆上的裸芯片进行功能和电参数测试或射频测试，可以对芯片的良品、不良品的进行筛选。

探针台由哪些部分组成？

1.样品台（载物台）

载物台是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小，并配套了相应的精密移动定位功能。克洛诺斯科技自主研发的超精密气浮运动平台就是作为定位晶圆或芯片的部件设备，重复定位精度达±50纳米，可以依靠精密机械运作在极短的曝光时间内完美定位，完成晶圆在量测端的极精密的检测。

克洛诺斯气浮运动平台特点：

01 超精度设计；

02 重复定位精度 ±50nm；

03 Y轴双驱双龙门结构，承载能力强；

04 可选光栅或激光干涉仪位置反馈。

快速移动！精准进行位移调节！

这个部件的作用是能够从视觉上放大观察待测物，以便精确地将探针尖端对准并放置在待测晶圆/ 芯片的测量点上。

3.卡盘

有一个非常平坦的金属表面，卡盘用夹具来固定待测物，或使用真空来吸附晶圆。

探针台如何工作？

探针台可以固定晶圆或芯片，并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中，并使用显微镜将探针尖端放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针尖端都被设置在正确的位置，就可以对待测物进行测试。

对于带有多个芯片的晶圆，使用者可以抬起压盘，压盘将探针头与芯片分开，然后将工作台移到下一个芯片上，使用显微镜找到精确的位置，压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程，提高了探针台生产率。

探针台的作用是什么？

探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上，从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。

晶圆检测是半导体制造中必不可少的步骤，选择合适的晶圆探针台和探针来进行晶圆检测也很重要。克洛诺斯最新自主研发的超精密气浮运动平台具有极高精度和运动稳定性，让系统在快速运行时，能准确识别和测量出晶圆的种种缺陷，大大提高晶圆检测效率。