晶瑞股份二手光刻机到货 称可用于研发28纳米光刻胶（晶瑞股份研发投入）

1月19日晚间，晶瑞股份（300655，SZ）公告称，公司顺利购得ASML XT 1900Gi型光刻机一台该设备于2021年1月19日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室下一步，公司将积极组织相关资源，尽快完成设备的安装调试工作。

据悉，该型号光刻机可用于研发最高分辨率达28nm的高端光刻胶一位业内人士向《每日经济新闻》记者讲述了该光刻机的“曲折”故事该型号光刻机为十年前的产品，本是中国第一批浸没式光刻机，由无锡SK海力士购入不过之后由于SK海力士工厂起火，更换了制程，这些设备又被运到韩国。

现在，其中一台设备又被晶瑞股份购得2020年9月29日早间，晶瑞股份曾发布关于购买设备的公告，称公司为开展集成电路制造用高端光刻胶研发项目，与SK Hynix（即SK海力士）签署设备进口合同，进口ASML光刻机设备，进口代理方为Singtest Technology PTE.LTD.，总价款为1102.5万美元。

值得注意的是，《每日经济新闻》记者在1月19日下午两点左右便在一微信群里看到一张照片，该照片显示，晶瑞股份于1月19日召开大会，庆祝搬入ArF浸没式光刻机该照片透露的信息包括“ArF浸没式光刻机”、“勇攀28纳米高峰”等。

打开凤凰新闻，查看更多高清图片图片来源：微信群对此，北京市京大（上海）律师事务所幺博文律师对《每日经济新闻》记者表示：“法律规定内幕信息不得公开或者泄漏，该设备购买时已经披露过信息，如果公司提前进行庆祝设备进场的活动，导致股价波动。

该行为是否触犯《上市公司信息披露管理办法》第四条，最终应该由监管部门调查确定”股价走势上，晶瑞股份1月19日上午一度小幅走低，在下午两点之后突然迅速拉升，截至收盘报34.20元/股，全天上涨2.70%