长春光机所研制出国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台

日前，中科院长春光机所旗下长春光华微电子设备工程中心有限公司（光华微电子）宣布研制成功国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台。

长春光机所研制的12寸全自动晶圆探针台

光华微电子公司是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所机电工程研究部于2002年转制而成立的一家高科技股份有限公司，近20年来专注于被动电子元件和微电子设备的研发、生产，其主要产品分布在晶片电阻生产设备、半导体生产设备、激光精细加工设备、精密机械产品等4个领域。光华微电子的产品技术与品质处于国内领先水平，产品出口日本、韩国、泰国、菲律宾、马来西亚等国家，以及中国台湾、香港等地区，在国内有大量中资、台资、港资、美资和韩资企业用户，其中晶片电阻生产设备市场占有率达70%以上。

图中心处为探针台Pad盘，约为头发丝截面积1/4，中间小圆孔为针痕

本次研发成功的晶圆探针台产品，是半导体（包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器）行业重要的检测装备之一，用于晶圆加工之后、封装工艺之前的晶圆测试环节，负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。经过检测，探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来，在进入后序工序前予以剔除，从而大幅度降低器件的制造成本。晶圆针测过程技术挑战极大，通常情况下探针数量在几千到几十万只，要求每只探针要对应一个微米量级的Pad盘，整个过程要在0.3秒内完成，然后再运转至下一个位置。

光华微电子研制的国内第一款商业化12英寸全自动晶圆测试探针台，性能指标已经达到或者接近国际水平。全面推向市场后，能够降低晶圆测试厂采购及维护成本，打破国际市场垄断，对我国的半导体产业发展产生积极作用。

吉林日报全媒体 记者：华泰来 编辑：赵树凯